|
|
|
 |
Brooks（ブルックス・
ヘリックス・HELIX・CTI） |
CT-4/4F, CT-8/8F, CT-10/10F, CT-250F, CT-100, CT-400, OB-4/4F, OB-8/8F, OB-8FE,
OB-10/10F, OB-250F, OB-IS-8F, OB-IS-250F/250FE, OB-IS-320FE, OB-400, P-300 |
| ULVAC（アルバック） |
U4, U6, U8, U10, U12, U16, U20, U22, U30, U32 |
| ANELVA（アネルバ） |
CAP-80MKII, CAP-80H/80X/80R/80L, CAP-83R, CAP-100/100L, CAP-120/120MKII,
CAP-121L/121MKII, CAP-160, CAP-200, POWER-06, POWER-08, POWER-10, POWER-12 |
| 鈴木商館 |
A200/200F, A300 |
| ダイキン |
Cryotec-10, Cryotec-12, V204, V208 |
|
|
|
 |
・CVD/PVD装置
・スパッタリング装置
・酸化炉/拡散炉
・イオン注入装置（インプラ）
・エピタキシャル成長装置 |
|
・熱処理炉（RTP）
・真空プラズマ成膜装置
・ドライエッチング装置
・光学薄膜装置
・真空蒸着装置 |
|
・液晶(LCD)製造関連
・光学レンズ製造関連
・ハードディスク(HDD)製造関連
・光ファイバー製造関連
・有機EL(OLED)製造関連 |
|
|
|
|
|
|
|
