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拡散炉・CVD装置用断熱リング
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拡散炉・CVD装置用断熱リング
半導体および集積回路等の製造に使用する拡散炉やCVD装置（〜1250℃）の炉口部断熱材を提供しております。アルミナ長繊維のクロスで縫製されているため、他の素材を用いた断熱材よりも長寿命です。また、近年低不純物化が求められて おり、通常品とは別に低不純物仕様もご用意しております。
特長
  • 高耐熱　耐熱温度1250℃
  • 安全　繊維径7μの長繊維のため、呼吸器に入らない
  • 低不純物化　中綿をクロスで覆うため、ショット（粉、パーティクル）が出ない
  • オーダーハンドメイド　加工性が良く複雑な形状が加工可能
  • 採寸・作図　現場採寸、図面作成、綿密な打合せによる製作
  • 構成部材　外被材（クロス）、内部断熱材（ブランケット/ボード）、縫糸、縛り紐
  • 長寿命　ライフタイムの延長
  • 短納期　交換部材・メンテナンスのリードタイム短縮
  • コストダウン　消耗部材の交換コスト削減
主要製品
  • 排気管断熱リング
  • ハット状断熱リング
  • セラミックファイバーボード
  • フロントハット
  • フロント偏心リング
  • 天板リング
  • リア偏心リング
  • リア偏心カップ
  • リアハット
  • その他

ボード

ブランケット
用途
  • 拡散炉
  • LPCVD
  • 熱処理炉
  • 縦型拡散炉
  • 横型拡散炉
  • エピタキシャル成長装置
  • 拡散炉/CVD装置内の反応管（炉心管/石英チューブ）や均熱管の外側に使用
  • 各種ウェハサイズに対応　6インチ(150mm)、8インチ(200mm)、12インチ(300mm)
    • 《TEL/東京エレクトロン(IW6, VDF, VCF, ALPHA-6/8)、KOKUSAI/日立国際電気、ASM、AMAT/アプライドマテリアルズ、東横化学、光洋サーモシステム、アルバック他》
三洋マテリアル株式会社
〒171-0021 東京都豊島区西池袋1-5-11 イトーピア池袋ビル505
TEL：03-3983-0902　　FAX：03-3981-9093
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