三洋マテリアル株式会社

• アルミナ (Al2O3)
• 炭化ケイ素 (SiC)
• 導電性セラミックス
• 多孔質セラミックス
• ジルコニア (ZrO2)
• ブラックアルミナ

アルミナ搬送ハンド

• 搬送ハンド/エンドエフェクタ
• 吸着ハンド（バキュームタイプ）
• ロボットハンド/ロボットアーム
• 大型ガラス基板搬送アーム
• LED用トレイ（2/3/4/5/6インチ）
• ウェハトレイ（6/8/12インチ）
• ウェハステージ
• 多孔質SiC吸着ステージ
• 多孔質ウェハチャック
• 露光装置用チャック
• 真空チャンバー部品（トレー、シールド、リング）
• スパッタ装置用パーツ
• フォーカスリング
• 絶縁用パーツ
• 静電チャック
• 真空チャック
• ノズル部品
• 基板
• セッター
• フレーム
• プレート

アルミナウェハトレイ

SiCチャック

• 半導体製造装置
• CVD/PVD
• スパッタリング装置
• エッチング装置/エッチャー
• イオン注入装置/インプラ
• 露光装置/ステッパー
• ウエハ検査装置　　
• 液晶製造装置
• LED製造装置
• 有機EL(OLED)製造装置
• ソーラーパネル製造装置
• 焼成用治具
• 産業機械

《TEL/東京エレクトロン、KOKUSAI/日立国際電気、ASM、AMAT/アプライドマテリアルズ、ノベラス、
AKT、アルバック、 アクセリス/Axcelis、SCREEN/大日本スクリーン製造、キヤノンアネルバ、ラムリサーチ、日立ハイテクノロジーズ、芝浦メカトロニクス、キヤノン、ニコン、サムコ、住友精密工業、安川電機、ダイヘン》