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PFA・PTFEバルブ
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排出弁
・高品質、高性能、耐圧、耐久、耐熱、低発塵
・クリーン化、省スペース、軽量化、安全性、低コスト、少量多品種生産
・材質 PFA、PTFE、PP、PVDF他
・Oリング FKM、 DAI-EL 、EPDM他
・接続方式 フローウエル、ピラー、クラボウ、フレアタイプ、チューブタイプ、ユニオンタイプ他
使用用途
・半導体製造装置
・ウェハ洗浄装置
・CMP研磨装置
・コータ/デベロッパー
・液晶製造装置
・LED製造装置
・有機EL製造装置
・MEMS製造装置
・薬液(スラリー)供給設備
・純水製造装置
・医療機器
・医薬品分析装置
三洋マテリアル株式会社
〒171-0021 東京都豊島区西池袋1-5-11 イトーピア池袋ビル505
TEL:03-3983-0902  FAX:03-3981-9093
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