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| 半導体・液晶製造、通信、光学、エネルギー等様々な分野で使用される石英ガラス及び石英ガラス製品を提供しております。合成石英及び溶融石英ガラス素材、光学部品、半導体製造装置用部品など素材から加工品まで幅広い品揃えと優れた石英加工技術によりお客様のあらゆるニーズにお応え致します。
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| 特長： |
超高純度、不純物・泡・異物をほとんど含まない、優れた光透過性、均質性、
エキシマ耐性、耐熱性、有水、完全無水 |
| 用途： |
光学レンズ、半導体・液晶・プリント基板用フォトマスク基板、反射透過基板、
エキシマレーザー、光ファイバー製造関連部品、レーザー光学部品、
ステッパー用レンズ、その他各種レンズ、プリズム、ミラー、窓材、
半導体用炉心管、治具 |
| 規格： |
インゴット、スラブ、コラム、板材、ムク棒（棒材）、管材（パイプ・太管・細管）、
研究・開発・試作用素材（小ロット対応） |
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| 特長： |
高純度、泡・異物が少ない、断熱性、遮光性、優れた光透過性、透明、不透明 |
| 用途： |
半導体用反応管、ウェハボート、エッチャー用部品、断熱、遮光部品（フランジ）、
エキシマランプ管
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| 規格： |
インゴット、スラブ、コラム、板材、ムク棒（棒材）、管材（パイプ・太管・細管）、
研究・開発・試作用素材（小ロット対応） |
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【主要製品】
- 石英炉心管/石英チューブ（反応管、二重管、プロセス、アウター、インナー）
- ウェハボート（石英ボート、キャリアボート、縦型/横型）、フランジ
- ウェハーガイド、石英フォーク、石英チャンバー、石英ベルジャー、石英バーナー
- 石英ウェハーリング、シャワープレート、石英チャック、石英キャリア、ターゲット
- 石英台座、ガス分散板、石英治具、石英セル、石英ハンガー、石英トレイ
- 洗浄槽（石英槽/角槽/オーバーフロー槽）
- 光学レンズ、プリズム、ミラー、レーザー光学部品、紫外・赤外線用レンズ
- フォトマスク基板（半導体、液晶、プリント基板）
- 反射透過基板
- ステッパー用レンズ
- 窓材、ウィンドー
- 光ファイバー製造関連部品
【用途】
- 酸化・拡散炉/CVD
- エッチング装置/エッチャー
- アッシング装置/アッシャー
- 洗浄装置/ウエットプロセス
- シリコン単結晶引き上げ炉
- エピタキシャル成長装置
- 露光装置/ステッパー
- 真空装置
- 光学関連
- 光ファイバー製造関連
- その他半導体製造装置（4インチ/100mm、5インチ/125mm、6インチ/150mm、
8インチ/200mm、12インチ/300mm）
《TEL/東京エレクトロン、KOKUSAI/日立国際電気、ASM、AMAT/アプライドマテリアルズ、ノベラス、
アルバック、キヤノンアネルバ、ラムリサーチ、日立ハイテクノロジーズ、芝浦メカトロニクス、PSK、
マトソン、光洋サーモシステム、SCREEN/大日本スクリーン製造、サムコ、住友精密工業》
【加工技術】
- 切削加工（マシニングセンタ、ネジ切り加工、溝加工、穴加工）
- 旋盤加工
- 火炎加工（継ぎ加工、溶接・接合加工、拡管加工、引っ張り加工、曲げ・捲く加工、封じ加工）
- 成形加工（段付加工、ザグリ加工、テーパー加工、面取り加工）
- 研削・研磨加工
- 焼結加工
- 表面処理（アニール、サンドブラスト・砂目仕上げ、レーザー加工、切断加工）
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三洋マテリアル株式会社
〒171-0021 東京都豊島区西池袋1-5-11 イトーピア池袋ビル505
TEL：03-3983-0902 FAX：03-3981-9093 |
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